微流量氣體質(zhì)量流量傳感器CAFS3000系列

描述

  CAFS3000系列氣體質(zhì)量流量傳感器是采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片制作，適用于各種清潔、相對(duì)干燥性微小流量氣體的測(cè)量和過(guò)程控制使用，特殊的封裝技術(shù)使得相同口徑下的產(chǎn)品可以滿足不同范圍的流量測(cè)量，同時(shí)確保高靈敏度，高可靠性，高穩(wěn)定性和低成本。產(chǎn)品應(yīng)用十分廣泛。

特點(diǎn)：

供電范圍寬：8-24V

精度高：（1.5%FS滿量程）

線性輸出和無(wú)需溫度補(bǔ)償

長(zhǎng)期穩(wěn)定性好

固態(tài)傳感核心（無(wú)表面空洞或易碎膜），抗堵塞和壓力沖擊

模擬輸出1-5V或者I2C數(shù)字輸出

快速響應(yīng)時(shí)間（可選9ms）

流量范圍寬0sccm-2000sccm

能夠適應(yīng)于相對(duì)潮濕性氣體測(cè)量

傳感器可耐冷凝水

典型應(yīng)用：

制氧機(jī)   呼吸器   噴霧器  持續(xù)氣道正壓通氣設(shè)備    分娩   檢漏

光譜儀   質(zhì)量流量控制器     通訊系統(tǒng)   環(huán)境氣候控制