直線步進(jìn)電機(jī)模組的工作原理
直線步進(jìn)電機(jī)是將電能直接轉(zhuǎn)化為直線運(yùn)動(dòng)機(jī)械能，而不需要任何中心轉(zhuǎn)換安排的一種傳動(dòng)裝置。直線步進(jìn)電機(jī)模組可以看作是一個(gè)旋轉(zhuǎn)電機(jī)，割裂徑向，振動(dòng)音圈電機(jī)，并展開(kāi)成一個(gè)平面。由定子演化而來(lái)的變稱為主定子，由轉(zhuǎn)子演化而來(lái)的稱為次定子。在實(shí)踐中，首要和非必須被制造成不同的長(zhǎng)度，以確保首要和非必須的耦合保持穩(wěn)定在所需的行程規(guī)模。
直線步進(jìn)電機(jī)模組控制技術(shù)的研究可以分為傳統(tǒng)控制技術(shù)、現(xiàn)代控制技術(shù)和智能控制技術(shù)三個(gè)方面。傳統(tǒng)的控制技術(shù)如PID反響控制寬和耦控制在溝通伺服體系中得到了廣泛的使用。PID控制包含動(dòng)態(tài)控制過(guò)程中的信息，具有較強(qiáng)的魯棒性。它是溝通伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)體系的根本控制辦法。
直線步進(jìn)電機(jī)原理結(jié)構(gòu)圖介紹
上述介紹的直線步進(jìn)電機(jī)稱為扁平型直線電機(jī)，是目前應(yīng)用較為廣泛的，除了上述扁平型直線電機(jī)的結(jié)構(gòu)形式外，直線電機(jī)還可以做成圓筒型（也稱管型）結(jié)構(gòu)，它也可以看作是由旋轉(zhuǎn)電機(jī)演變過(guò)來(lái)的，其演變的過(guò)程如圖1-6所示。
旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過(guò)鋼繩、齒條、皮帶等轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)換成直線運(yùn)動(dòng)，這些轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)在運(yùn)行中，其噪音是不可避免的，而直線步進(jìn)電機(jī)是靠電磁推力驅(qū)動(dòng)裝置運(yùn)行的，故整個(gè)裝置或系統(tǒng)噪聲很小或無(wú)噪聲，運(yùn)行環(huán)境好。圖1-6a中表示一臺(tái)旋轉(zhuǎn)式電機(jī)以及定子繞組所構(gòu)成的磁場(chǎng)極性分布情況，圖1-6b表示轉(zhuǎn)變?yōu)楸馄叫椭本€電機(jī)后，初級(jí)繞組所構(gòu)成的磁場(chǎng)極性分布情況，然后將扁平型直線電機(jī)沿著和直線運(yùn)動(dòng)相垂直的方向卷接成筒形，這樣就構(gòu)成圖1-6c所示的圓筒型直線電機(jī)。
此外，直線步進(jìn)電機(jī)還有弧型和盤(pán)型結(jié)構(gòu)。所謂弧型結(jié)構(gòu)，就是將平板型直線電機(jī)的初級(jí)沿運(yùn)動(dòng)方向改成弧型，并安放于園柱形次級(jí)的柱面外側(cè)，如圖1-7所示。 圖1-8是圓盤(pán)型直線電機(jī)，該電機(jī)把次級(jí)做成一片圓盤(pán)（銅或鋁，或銅、鋁與鐵復(fù)合），將初級(jí)放在次級(jí)圓盤(pán)靠近外緣的平面上，盤(pán)型直線電機(jī)的初級(jí)可以是雙面的，也可以是單面的?；⌒秃捅P(pán)型直線電機(jī)的運(yùn)動(dòng)實(shí)際上是一個(gè)圓周運(yùn)動(dòng)，如圖中的箭頭所示，然而由于它們的運(yùn)行原理和設(shè)計(jì)方法與扁平型直線電機(jī)結(jié)構(gòu)相似，故仍歸入直線步進(jìn)電機(jī)的范疇。
淺談直線步進(jìn)電機(jī)有哪些常見(jiàn)問(wèn)題
直線步進(jìn)電機(jī)是否適用于潔凈室
直線電機(jī)適用于潔凈室。許多前端半導(dǎo)體使用都使用在直線步進(jìn)電機(jī)，在晶圓制作工廠，高精度光刻機(jī)放置在等級(jí)為10的潔凈室里，直線步進(jìn)電機(jī)使用于其間XY***渠道，適用納米分辨率來(lái)完成亞微米級(jí)精度。直線電機(jī)也使用在其它領(lǐng)域中，半導(dǎo)體后端包裝、測(cè)驗(yàn)、硬盤(pán)的裝配與測(cè)驗(yàn)等使用，都在潔凈室里。在潔凈室里，相比較傳統(tǒng)的滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)，直線電機(jī)的驅(qū)動(dòng)***沒(méi)有接觸，因而沒(méi)有磨損而導(dǎo)致粒子生成。直線步進(jìn)電機(jī)不需要潤(rùn)滑劑，由于潤(rùn)滑劑也是污染源。
