一定流量、純度的普氮和氫氣同時進(jìn)入裝置中，在混合器中充分混合后，進(jìn)入除氧器裝置，在脫氧催化劑鈀觸媒的作用下產(chǎn)生2H2+O2=2H2O的化學(xué)反應(yīng)，達(dá)到脫氧目的。脫氧后氮氣中的水氣經(jīng)過冷卻器脫水，然后氮氣繼續(xù)進(jìn)入干燥器干燥，使氮氣***達(dá)-60℃左右，干燥器配置兩臺，其中一臺干燥器進(jìn)行吸附干燥，另一臺把已吸附飽和水氣的干燥器進(jìn)行再生，為下一周期吸附工作做好準(zhǔn)備。經(jīng)干燥后的氮氣通過過濾器除塵，***后得到的便是高純氮氣。
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