湖北豐熱科技有限公司（原武漢離子熱處理研究所），***制造輝光離子滲氮爐的高新技術(shù)企業(yè)；是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐，并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術(shù)服務(wù)。

其基本爐型有罩式、井式、臥式，但是通常以罩式為常見。轟擊表面的一部分氮奪取電子后直接滲人工件表面，在工件表面上形成含氮很高的呈蒸發(fā)狀態(tài)的Fe，并不斷向工件內(nèi)部擴(kuò)散，從而達(dá)到滲氮的目的。

具有高能量的氮離子轟擊工件表面，由動(dòng)能轉(zhuǎn)化為熱能加熱工件，同時(shí)氮離子吸取電子還原成原子被工件表面吸收并向內(nèi)層擴(kuò)散。由于是在次大氣壓條件下的輝光放電，處理環(huán)境的氣氛濃度高，電子和離子的能量可達(dá)10eV以上。離子轟擊工件表面還產(chǎn)生陰極濺射，濺射出鐵離子與氮離子化合形成氮化鐵FeN，F(xiàn)eN重新附著在工件表面，然后分解為Fe2N和Fe3N并放出氮原子向工件內(nèi)擴(kuò)散

?選用正弦波中頻靶電源，由于波形的原因，靶面產(chǎn)生打弧的幾率更低并優(yōu)于雙極性矩形波中頻靶電源。更適合于對(duì)薄膜表面和膜層質(zhì)量要求較高的濺射工藝。APGD的研究也取得了一些進(jìn)展，如He、Ne、Ar、Krypton惰性氣體在大氣壓下基本實(shí)現(xiàn)了APGD，空氣也已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了用眼睛看上去比較均勻的準(zhǔn)“APGD”。??一般來說，射頻輝光放電與直流及中頻交流脈沖輝光放電相比，可以在低一個(gè)數(shù)量級(jí)的氣體壓強(qiáng)狀態(tài)下進(jìn)行(例如，1.0×1-2Pa)。??