SII SFT-110型X射線熒光鍍層厚度測量儀

精工（SEA1000SII、SEA1000A、SEA1000AII、SEA1200VX、SEA6000VX，均能升級至測定鹵素，膜厚儀SFT110、SFT9300、SFT9500）納米科技有限公司,SFT-110系列產(chǎn)品,搭載了高性能X射線管，實現(xiàn)了高精度的測定。SFT-110極微小準直管和可變焦距光學系統(tǒng)的組合，實現(xiàn)了對極微小部分的測定。對有段差的樣品也適用。

1．SFT-110搭載了50W高性能X射線管。

2．SFT-110搭載標準的Φ50μm微小準直管（***小Φ15μm）。

3．容易對微小領(lǐng)域進行觀察。SFT-110搭載了能4階段切換的可變焦距光學系統(tǒng)。

4．依據(jù)照明能很容易對以前觀察困難的樣品進行觀察。

5．FT-110搭載了防止有凹凸的樣品碰撞的傳感器。

6．搭載了焦點切換功能，SFT-110能夠?qū)τ懈叨鹊臉悠返牡筒糠诌M行測定。

7．SFT-110利用伺服馬達***的驅(qū)動平臺。

7．SFT-110運用激光聚焦功能簡單實現(xiàn)位置的調(diào)整。