主要部件的功能及其工作原理 
1  電熱爐（工藝管） 
  電熱爐是***的高可靠性的發(fā)熱體，是經(jīng)過特殊工藝制成，它對恒溫區(qū)的長度、精度以及穩(wěn)定度提供了基礎(chǔ)，是影響成膜速率和均勻性的必要條件之一。工藝管具有口徑大、壁厚均勻無氣泡的優(yōu)良性，它水平置于爐體的***，兩端配有密封法蘭，可生產(chǎn)8英寸圓片、6英寸方片，同時經(jīng)特殊磨口為真空密封提供可靠保證。 
2  取放舟系統(tǒng) 
  取放舟系統(tǒng)采用軟著爐的方式，即將石墨舟放到反應(yīng)管內(nèi)部后，推舟機構(gòu)將退出，自動門關(guān)上。   載片舟是經(jīng)特殊設(shè)計，在X軸、Y軸、Z軸三個方向可微調(diào)，再精加工而成。它直接影響到電場的分布、等離子的產(chǎn)生、氣流的走向、膜的品質(zhì)。成膜壓力甚至氣體的流量都與此結(jié)構(gòu)有關(guān)。所以是本設(shè)備的核心部件。 
 
3  氣路單元 
  氣路單元是一個***體，它的所有使用元器件都是進口產(chǎn)品，具有控制***、動作可靠，布局合理，為安全生產(chǎn)提供一個先決條件。
 
4  PLC及計算機控制 
  本臺設(shè)備PLC做工藝自動控制和安全互鎖，計算機提供人機交互，工藝編輯，各種過程實時顯示，參數(shù)實時時錄等。裝片取片由人工操作。同時有多種報警系統(tǒng)，如超溫報警、斷偶報警等。
 
5  真空系統(tǒng) 
  真空系統(tǒng)是本臺設(shè)備的關(guān)鍵之一，它是由羅茨泵機組、電動調(diào)節(jié)閥、電磁擋板閥、壓力傳感器、真空管道等組成。
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