型號(hào) | LCD-70 | LCD-55 | LCD-20 | |
尺寸 | 2000mm長*1500mm寬*2000mm高 | 1500mm長*1300mm寬*1500mm高 | 1200mm長*800mm寬*1500mm高 | |
重量 | 約2000KG | 約1200KG | 約120KG | |
電力需求 | 220V,50~60Hz | |||
樣品臺(tái) | 大小 | 1600mm*1000mm | 650mm*550mm | 500mm*320mm |
樣品臺(tái)X-Y行程 | 樣品臺(tái)固定 | 樣品臺(tái)固定 | 樣品臺(tái)X-Y行程8*8英寸 | |
樣品固定方式 | 自然放置 | 自然放置 | 自然放置 | |
光源 | 面背光、點(diǎn)背光、上光源 | 面背光、點(diǎn)背光、上光源 | 面背光、上光源 | |
顯微鏡特性 | 行程 | 1600mm*1000mm*50mm | 650mm*550mm*50mm | 鏡體固定,Z軸行程50mm |
CCD像素 | 50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字) | |||
目鏡 | 10X目鏡 | 10X目鏡 | 10X目鏡 | |
物鏡 | 配置物鏡:5X,10X,20X,50X、100X(選配) | 配置物鏡:5X,10X,20X,50X、100X(選配) | 配置物鏡:5X,10X,20X,50X(選配)、100X(選配) | |
物鏡轉(zhuǎn)盤 | 電動(dòng)鼻輪 | 手動(dòng)/電動(dòng)鼻輪 | 手動(dòng)鼻輪 | |
調(diào)焦 | 聚焦模式:電動(dòng) | 聚焦模式:手動(dòng)或電動(dòng) | 聚焦模式:手動(dòng) | |
激光特性 | 波長 | 波長可選擇1064/532/355/266nm波段 | 波長可選擇1064/532/355/266nm波段 | 波長可選擇1064/532/355/266nm波段 |
能量 | 輸出功率2.2mJ/pulse | 輸出功率2.2mJ/pulse | 輸出功率2.2mJ/pulse | |
微加工能力 | 可加工材質(zhì):Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN/CF內(nèi)雜質(zhì)等 | 可加工材質(zhì):Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN/CF內(nèi)雜質(zhì)等 | 可加工材質(zhì):Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN/CF內(nèi)雜質(zhì)等 | |
加工精度 | ***小可加工精度1*1um(配置100X鏡頭時(shí)) | ***小可加工精度1*1um(配置100X鏡頭時(shí)) | ***小可加工精度1*1um(配置100X鏡頭時(shí)) | |
冷卻方式 | 可選擇風(fēng)冷激光或水冷激光 | 可選擇風(fēng)冷激光或水冷激光 | 可選擇風(fēng)冷激光或水冷激光 | |
控制系統(tǒng) | 結(jié)構(gòu) | 精密數(shù)控系統(tǒng),采用高精度運(yùn)動(dòng)控制卡和日本進(jìn)口伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)和步進(jìn)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)3軸聯(lián)合運(yùn)動(dòng),實(shí)現(xiàn)X-Y平臺(tái)的任意曲線的運(yùn)動(dòng) | 精密數(shù)控系統(tǒng),采用高精度運(yùn)動(dòng)控制卡和日本進(jìn)口伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)和步進(jìn)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)3軸聯(lián)合運(yùn)動(dòng),實(shí)現(xiàn)X-Y平臺(tái)的任意曲線的運(yùn)動(dòng) | 高精度研磨級(jí)絲杠傳動(dòng),精度1微米 |
防震 | ***進(jìn)口氣浮防震平臺(tái) | |||
速度 | 速度分4檔可調(diào),可以設(shè)定***慢速度,***低速度下***小移動(dòng)分辨率為1μm,***高速度不低于150mm/s | 速度分4檔可調(diào),可以設(shè)定***慢速度,***低速度下***小移動(dòng)分辨率為1μm,***高速度不低于150mm/s | 20寸以內(nèi)面板生產(chǎn)工藝不良和缺陷的修復(fù),亮點(diǎn)、亮線、顯示異常等故障修復(fù) | |
軟件功能 | 軟件系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)激光控制,光源控制,物鏡轉(zhuǎn)盤切換,電動(dòng)聚焦,平臺(tái)控制,圖像調(diào)整,鼠標(biāo)激光畫框,等功能。 可實(shí)現(xiàn)圖像點(diǎn)擊移動(dòng),自定義軌跡,坐標(biāo)儲(chǔ)存,存儲(chǔ)坐標(biāo)***,手動(dòng)坐標(biāo)***,移動(dòng)鼠標(biāo)尋跡等功能。 速度可以通過軟件設(shè)定,鼠標(biāo)移動(dòng)的距離控制。 |
PLC,搖桿電機(jī)控制 | 手動(dòng)控制 | |
可選附件 | 手動(dòng)控制盒 | |||
維修專用補(bǔ)償鏡頭 | 維修專用補(bǔ)償鏡頭 | 維修專用補(bǔ)償鏡頭 | ||
特殊定制 | 特殊定制 | 特殊定制 | ||
運(yùn)用方向 | 70寸以內(nèi)面板生產(chǎn)工藝不良和缺陷的修復(fù),亮點(diǎn)、亮線、顯示異常等故障修復(fù) | 55寸以內(nèi)面板生產(chǎn)工藝不良和缺陷的修復(fù),亮點(diǎn)、亮線、顯示異常等故障修復(fù) | 20寸以內(nèi)面板生產(chǎn)工藝不良和缺陷的修復(fù),亮點(diǎn)、亮線、顯示異常等故障修復(fù)(Oled/LCD,手機(jī),數(shù)碼) |