MEMS微納加工——廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是廣東省科學(xué)院下屬骨干研究院所之一，硅硅鍵合微納加工制作，主要聚焦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的應(yīng)用技術(shù)研究，兼顧重大技術(shù)應(yīng)用的基礎(chǔ)研究，立足于廣東省經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展的實(shí)際需要，從事電子信息、半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用基礎(chǔ)性、關(guān)鍵共性技術(shù)研究，以及行業(yè)應(yīng)用技術(shù)開發(fā)。

微納加工中EMI濺射鍍膜的特點(diǎn)

微納加工中的EMI：是電磁波會與電子元件作用，電子束***微納加工制作，產(chǎn)生干擾現(xiàn)象。它有以下幾個特點(diǎn)：

A、如果國內(nèi)擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的話，價格相比較更低。

B、更加環(huán)保，真空濺射屬于環(huán)保制程，可以做到無污染。

C、雖然真空濺射加工的金屬薄膜厚度只有0.5～2μm，但不會影響裝配。

D、在材料選擇上沒有限制，在常見的常溫固態(tài)導(dǎo)電金屬及有機(jī)材料、絕緣材料皆可使用。

E、EMI膜質(zhì)致密均勻、膜厚容易控制。

F、被濺射基材幾制。

G、它的附著力強(qiáng)（可用ASTM3599的方法測試4B）。

H、可同時搭配多種不同濺射材料之多層膜，且可隨客戶變換鍍層次序。

歡迎來電咨詢半導(dǎo)體研究所了解更多微納加工制作~

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激光微納制造實(shí)驗(yàn)室怎么樣？

超快激光微納制造實(shí)驗(yàn)室是半導(dǎo)體行業(yè)不斷發(fā)展的結(jié)果，飛秒i激光具有超快超i強(qiáng)的特點(diǎn)，其與材料相互作用機(jī)理也完全不同于傳統(tǒng)激光。但是由于制造方法以及飛秒加工法人效率等多方面原因，目前大面積功能性微納結(jié)構(gòu)的制備仍有很大挑戰(zhàn)，需要進(jìn)一步的研究攻i克。

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MEMS傳感器設(shè)計(jì)需要考慮什么

MEMS傳感器也稱作是微機(jī)電系統(tǒng)，它涉及多門學(xué)科，綜合性比較強(qiáng)，應(yīng)用前景廣闊，是當(dāng)今備受矚目的領(lǐng)域之一。

MEMS設(shè)計(jì)是長期技術(shù)經(jīng)驗(yàn)的結(jié)晶，有諸多需要考量的因素。傳感器一般所測得的物理量都比較小，湖南微納加工制作，如何將有效信息取出是它首先要解決的問題；其次，傳感器的電路一定要簡單精煉，復(fù)雜的電路比較容易產(chǎn)生信噪；功耗問題以及元器件的選用和電源回路都是MEMS傳感器在設(shè)計(jì)過程中需要考量的方面。

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