精密和超精密加工技術(shù)簡(jiǎn)介

就***制造技術(shù)的技術(shù)實(shí)質(zhì)性而論，主要有精密和超精密加工技術(shù)與制造自動(dòng)化兩大領(lǐng)域。前者包括了精密加工、超精密加工、微細(xì)加工，以及廣為流傳的納米加工，它追求加工上的精度和表面質(zhì)量的極限，可統(tǒng)稱(chēng)為精密工程；尺寸和形位精度可用電子測(cè)微儀、電感測(cè)微儀、電容測(cè)微儀、自準(zhǔn)直儀和激光干涉儀來(lái)測(cè)量。后者包括了設(shè)計(jì)、制造和管理的自動(dòng)化，它不僅是快速響應(yīng)市場(chǎng)需求、提高生產(chǎn)率、改善勞動(dòng)條件的重要手段，而且是提高產(chǎn)品質(zhì)量的有效方式。兩者密切聯(lián)系，許多精密和超精密加工要靠自動(dòng)化技術(shù)才能達(dá)到預(yù)期目標(biāo)，而不少制造自動(dòng)化則有賴(lài)于精密加工才能達(dá)到設(shè)計(jì)要求。

制造業(yè)是國(guó)民經(jīng)濟(jì)的支柱產(chǎn)業(yè)，隨著制造業(yè)的快速發(fā)展，尤其是***制造技術(shù)的出現(xiàn)，新工藝、新加工方法不斷涌現(xiàn)。精密加工和超精密加工是***制造技術(shù)的重要支柱，也是提高制造技術(shù)水平的關(guān)鍵。當(dāng)前，在制造自動(dòng)化領(lǐng)域，進(jìn)行了大量有關(guān)計(jì)算機(jī)輔助技術(shù)軟件CAD、CAPP、CAM的開(kāi)發(fā)，計(jì)算機(jī)集成制造技術(shù)CIM、生產(chǎn)模式（如精良生產(chǎn)、敏捷制造、虛擬制造等），以及清潔生產(chǎn)和綠色制造等研究，代表了當(dāng)前制造技術(shù)的一個(gè)重要方面。但這絕非高新制造技術(shù)的全部，作為制造技術(shù)的主戰(zhàn)場(chǎng)，仍然要靠精密加工和超精密加工技術(shù)。與此同時(shí)，基于STM相似原理與結(jié)構(gòu)，相繼產(chǎn)生了一系列利用探針與樣品的不同相互作用來(lái)探測(cè)表面或界面在納米尺度上表現(xiàn)出來(lái)性質(zhì)的掃描探針顯微鏡(SPM)，用來(lái)獲取通過(guò)STM無(wú)法獲取的有關(guān)表面結(jié)構(gòu)和性質(zhì)的各種信息。