電容式位移傳感器

電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測(cè)量?jī)x器。電容式位移傳感器的電容器極板多為金屬材料，極板間襯物多為無機(jī)材料，如空氣、玻璃、陶瓷、石英等;因此可以在高溫、低溫強(qiáng)磁場(chǎng)、強(qiáng)輻射下長(zhǎng)期工作，尤其是解決高溫高壓環(huán)境下的檢測(cè)難題。位移激光傳感器以其獨(dú)特的丈量原理，已經(jīng)廣泛運(yùn)用于產(chǎn)業(yè)、航天多種領(lǐng)域。 在國(guó)內(nèi)研究所，高等院校、工廠得到廣泛應(yīng)用，成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種不可缺少的測(cè)試儀器。

該傳感器還可與控制室中的二次儀表或控制器相連，在線、連續(xù)、實(shí)時(shí)的檢測(cè)各種數(shù)據(jù)然后直接顯示，遠(yuǎn)程控制和報(bào)警。實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，積算、傳輸和控制功能。廣泛應(yīng)用于各種注塑機(jī)中。

主要用于解決下述各種測(cè)量問題：

壓電微位移、振動(dòng)臺(tái)，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測(cè)量等。

電容式位移傳感器的性能

電容式位移傳感器是以電容器為敏感元件，將機(jī)械位移量轉(zhuǎn)換為電容器電容量變化的一種傳感器。其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、分辨率高、工作可靠、動(dòng)態(tài)響應(yīng)好，可實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量，能在惡劣環(huán)境條件下工作，主要用于位移、液位等方面的測(cè)量。

電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測(cè)量?jī)x器，具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨和無惰性特點(diǎn)外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)。

電容位移傳感器特點(diǎn)　　1.旋轉(zhuǎn)軸的徑向跳動(dòng)，軸向竄動(dòng)和回轉(zhuǎn)精度；

　　2.往復(fù)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)特性和重復(fù)***精度；3.正弦波激振和脈激振中振動(dòng)測(cè)量；

　　4.機(jī)器零部件相對(duì)振動(dòng)相對(duì)變形；

　　5.盤類零件的端面振擺；

　　6.軸承間隙和油膜厚度；

　　7.檢測(cè)零部件尺寸和平直度；

　　8.線切割機(jī)床電極絲的振動(dòng)；

　　9.機(jī)床主軸熱位移與動(dòng)態(tài)加載試驗(yàn)測(cè)量；